+86 758 6635097
2026-10-24
В электронной промышленности системы перекачивания жидкостей редко оказываются в центре внимания, однако именно они нередко становятся одним из факторов, ограничивающих стабильность производственных процессов.
На линиях производства печатных плат (PCB) используются агрессивные кислотные и щелочные растворы для очистки, травления и обработки поверхностей. На предприятиях по производству полупроводниковых пластин применяются абразивные суспензии и химические реагенты высокой степени чистоты, для которых допустимое содержание некоторых примесей измеряется в миллиардных долях (ppb).
Даже небольшая утечка, засорение насоса или загрязнение технологического раствора могут привести к браку целой производственной партии.
Именно поэтому инженеры всё чаще рассматривают пневматические двухмембранные насосы (AODD) для различных задач перекачивания жидкостей в электронной промышленности.
Насосы BSK могут применяться в подходящих технологических процессах при условии правильного выбора материалов, конструкции и подтверждения требований к чистоте перекачиваемой среды.
На современных предприятиях электронной промышленности отказ системы перекачивания жидкости приводит не только к остановке отдельного насоса.
Он может нарушить технологический цикл, снизить выход годной продукции и вызвать дополнительные производственные затраты.
Наиболее распространённые проблемы включают следующие факторы.
Утечки через механические уплотнения и износ компонентов оборудования могут приводить к попаданию посторонних частиц и загрязняющих веществ в технологическую систему.
В производстве полупроводников даже незначительное загрязнение металлическими ионами или микрочастицами может повлиять на качество обработки пластин и выход годных изделий.
Остатки флюса, металлические частицы и твёрдые включения в суспензиях могут вызывать засорение насосов, не предназначенных для работы с такими средами.
Это приводит к незапланированным остановкам производственной линии.
Агрессивные химические вещества могут разрушать металлические компоненты и эластомеры, контактирующие с жидкостью.
Неправильный выбор материалов сокращает срок службы насоса и увеличивает частоту технического обслуживания.
На участках, где используются легковоспламеняющиеся растворители, необходимо учитывать требования к взрывозащите оборудования.
Пневматический привод исключает необходимость установки электрического двигателя непосредственно на корпусе насоса, однако сам по себе не подтверждает пригодность оборудования для любой взрывоопасной зоны.
Замена механических уплотнений, аварийные остановки и внеплановое техническое обслуживание могут нарушать производственные циклы, восстановление которых требует значительного времени.
Насосы AODD работают по принципу объёмного вытеснения жидкости и не имеют традиционного механического уплотнения вращающегося вала.
Такая конструкция обеспечивает ряд преимуществ для химических процессов в электронной промышленности.
В конструкции AODD отсутствует вращающийся вал, проходящий через проточную часть насоса.
Это исключает одну из потенциальных точек утечки, характерных для насосов с механическими уплотнениями.
Однако герметичность всей системы зависит также от состояния мембран, клапанов, соединений и правильности монтажа.
Насосы AODD способны переносить кратковременную работу без жидкости без немедленного повреждения, характерного для некоторых других типов насосов.
При закрытии нагнетательной линии насос может автоматически остановиться вследствие уравновешивания давления, если это допускается его конструкцией.
Однако продолжительная работа всухую увеличивает количество рабочих циклов и ускоряет износ мембран.
AODD обладает самовсасывающими свойствами и может работать с жидкостями различной вязкости.
Насос также способен переносить определённое количество воздуха в перекачиваемой среде.
Это удобно при опорожнении резервуаров, периодической подаче химических растворов и перекачивании жидкостей между технологическими ёмкостями.
В зависимости от конструкции и материалов насосы AODD могут перекачивать жидкости, содержащие частицы флюса, металлические включения и абразивные суспензии.
Максимально допустимый размер частиц и устойчивость к абразивному износу необходимо проверять по характеристикам конкретной модели.
Насос работает от сжатого воздуха и не требует установки электрического двигателя непосредственно на корпусе.
Это может быть преимуществом при работе с некоторыми растворителями и химическими веществами.
При эксплуатации во взрывоопасных зонах необходимо дополнительно учитывать требования к заземлению, статическому электричеству и соответствующей сертификации оборудования.
В зависимости от химического состава жидкости могут применяться:
PTFE;
PP;
PVDF;
различные инженерные эластомеры;
коррозионностойкие металлические материалы.
Правильный выбор материалов позволяет адаптировать насос к конкретным химическим условиям эксплуатации.
Для процессов с повышенными требованиями к чистоте необходимо дополнительно подтверждать допустимое выделение частиц, ионов и других загрязняющих веществ материалами насоса.
Подробнее о выборе материалов можно узнать в руководстве BSK: Выбор материала мембраны насоса AODD.
На линиях производства печатных плат насосы AODD могут использоваться для перекачивания щелочных моющих средств и кислотных растворов между технологическими этапами.
Они также могут применяться для циркуляции растворов, используемых при подготовке и обработке поверхности меди, включая процессы оксидирования и формирования адгезионного слоя.
Другой областью применения является отвод отработанных растворов, содержащих остатки флюса и металлические частицы.
Насосы могут работать совместно с датчиками уровня, обеспечивая периодическую подачу или циркуляцию жидкости в зависимости от потребностей технологической линии.
Аналогичные требования к коррозионной стойкости существуют на линиях гальваники и обработки поверхностей.
В производстве полупроводников используются различные системы перекачивания жидкостей для шлифования, полировки, очистки и удаления технологических отходов.
Одним из таких процессов является химико-механическая полировка (CMP — Chemical Mechanical Planarization).
В ходе CMP применяются суспензии с абразивными частицами, для которых необходимо обеспечивать контролируемую подачу и минимизировать нежелательные изменения свойств среды.
Насосы AODD могут рассматриваться для отдельных операций транспортировки и сбора таких суспензий.
Однако для непосредственной подачи CMP-суспензии к технологическому оборудованию необходимо дополнительно оценивать:
образование и выделение частиц;
влияние пульсаций;
возможное изменение размера частиц и образование агломератов;
совместимость материалов;
требования к чистоте и стабильности подачи.
Для перекачивания химических реагентов сверхвысокой чистоты следует использовать только оборудование, соответствующее требованиям конкретного полупроводникового процесса.
Стандартный промышленный насос AODD не следует автоматически считать пригодным для непосредственного контакта с химическими веществами полупроводниковой чистоты.
При выборе насосного оборудования инженерам необходимо учитывать несколько основных критериев.
Все материалы, контактирующие с жидкостью, должны быть совместимы с конкретным химическим составом.
Необходимо проверять:
корпус;
мембраны;
клапанные шары;
седла;
уплотнения.
При этом следует учитывать концентрацию, температуру и продолжительность контакта.
Для жидкостей с твёрдыми включениями необходимо определить максимальный размер и концентрацию частиц.
Эти параметры должны соответствовать возможностям конкретной модели насоса.
Отсутствие механического уплотнения вала снижает количество потенциальных источников утечки, однако не гарантирует отсутствие загрязнений.
Для процессов с высокими требованиями к чистоте необходимо отдельно оценивать выделение частиц, химическую чистоту материалов и конструкцию всей системы.
Необходимо учитывать возможное опорожнение резервуаров, остановки подачи жидкости и изменение противодавления.
Насос должен соответствовать предполагаемому режиму эксплуатации.
Конструкция оборудования должна обеспечивать доступ к основным обслуживаемым компонентам.
Это позволяет сократить время замены мембран, клапанных шаров и других изнашиваемых деталей.
BSK помогает подобрать конфигурацию AODD с учётом химических характеристик среды и требований конкретного технологического процесса.
Рассмотрим типовую ситуацию на предприятии по производству печатных плат.
На линии щелочной очистки используются центробежные насосы, которые требуют регулярной замены механических уплотнений.
Из-за периодических утечек и попадания твёрдых частиц происходят внеплановые остановки оборудования.
Предприятие рассматривает замену существующих насосов на пневматические двухмембранные насосы BSK.
Благодаря отсутствию традиционного механического уплотнения вала, самовсасывающим свойствам и способности работать с определёнными твёрдыми включениями такая замена может уменьшить количество отказов, связанных с уплотнениями и засорением.
При правильно подобранной конфигурации предприятие получает возможность сократить затраты на обслуживание механических уплотнений и повысить стабильность технологического процесса.
Это иллюстративный сценарий применения. Фактические результаты зависят от условий эксплуатации и характеристик выбранного оборудования.
BSK специализируется на разработке и производстве пневматических двухмембранных насосов.
Для различных химических процессов доступны конфигурации с мембранами из PTFE и других материалов, а также корпуса из химически стойких полимеров и металлов.
При подборе насоса для производства печатных плат необходимо учитывать химическую стойкость материалов, производительность, давление и особенности установки оборудования.
Для полупроводниковых процессов дополнительно необходимо подтверждать соответствие требованиям к чистоте и допустимому уровню загрязнений.
Цель правильного подбора — обеспечить соответствие оборудования реальным условиям технологического процесса, а не адаптировать процесс под ограничения насоса.
Независимо от того, разрабатываете ли вы новую линию очистки печатных плат, модернизируете систему транспортировки технологических суспензий или стремитесь сократить частоту обслуживания насосного оборудования, специалисты BSK помогут рассмотреть подходящую конфигурацию AODD.
Для подбора необходимо предоставить информацию о перекачиваемой жидкости, требуемом расходе, давлении и условиях эксплуатации.
Для процессов с особыми требованиями к чистоте или промышленной безопасности следует также указать применимые стандарты и требования к оборудованию.
Ответы на общие технические вопросы представлены в разделе BSK Fluid Technology.
BSK Fluid Technology предлагает пневматические двухмембранные насосы с проточной частью из различных материалов:
алюминиевого сплава;
нержавеющей стали;
чугуна;
PP (полипропилена);
PVDF.
BSK обладает более чем 30-летним опытом производства и применяет запатентованную технологию керамического воздухораспределительного клапана.
Компания предлагает решения для перекачивания жидкостей в химической промышленности, водоочистке, обработке поверхностей и других промышленных процессах.
Производительность можно регулировать изменением давления и расхода подаваемого сжатого воздуха.
Также могут использоваться:
регулирующий клапан на воздушной линии;
регулирование на стороне нагнетания;
электромагнитный клапан;
PLC для автоматизированного управления.
Насосы AODD могут останавливаться при закрытой нагнетательной линии, если это предусмотрено конструкцией и допускается условиями эксплуатации.
Не рекомендуется чрезмерно ограничивать всасывающую линию, поскольку это ухудшает условия всасывания и снижает производительность.
При определённых условиях высокое сопротивление на входе может также приводить к кавитационным явлениям.
AODD — это объёмный насос с приводом от сжатого воздуха.
Две гибкие мембраны соединены общим штоком и попеременно совершают возвратно-поступательные движения под управлением воздухораспределительного клапана.
Когда одна мембрана вытесняет жидкость из рабочей камеры, другая одновременно создаёт разрежение и всасывает следующую порцию жидкости.
Этот процесс повторяется циклически, обеспечивая перекачивание среды.
Основные особенности AODD:
самовсасывание;
возможность кратковременной работы всухую;
пневматический привод;
перекачивание жидкостей различной вязкости;
возможность работы с определёнными твёрдыми включениями.
Поскольку принцип работы основан на возвратно-поступательном движении мембран, поток имеет определённую пульсацию.
Насос необходимо выбирать по фактической рабочей точке, а не только по диаметру присоединения.
Основные параметры:
Требуемый расход → рабочее давление → вязкость → температура → химический состав → твёрдые частицы → условия всасывания.
Рекомендуется предусматривать разумный запас производительности, чтобы насос не работал постоянно на предельных режимах.
Однако чрезмерное увеличение типоразмера также нежелательно.
Окончательный выбор следует выполнять по рабочим характеристикам конкретной модели BSK.
Необходимое давление зависит от модели насоса, требуемой производительности и противодавления системы.
Для некоторых стандартных моделей рабочее давление может находиться в диапазоне 2–7 бар, однако допустимые значения необходимо подтверждать по технической документации конкретного исполнения.
BSK применяет запатентованную технологию керамического воздухораспределительного клапана.
Для отдельных конструкций возможен запуск при сравнительно низком давлении воздуха, но конкретные значения следует проверять по техническим характеристикам выбранной модели.
Оптимальные параметры подачи воздуха необходимо определять с учётом расхода сжатого воздуха, производительности и ресурса компонентов.
Специалисты BSK Fluid Technology помогут подобрать насос с учётом конкретных условий эксплуатации.
Для получения рекомендации предоставьте:
название и химический состав перекачиваемой жидкости;
концентрацию и температуру;
вязкость;
наличие и размер твёрдых частиц;
требуемый расход;
рабочее давление;
условия всасывания;
доступные параметры сжатого воздуха;
требования к материалам и чистоте технологической среды.
На основании этих данных можно определить подходящий типоразмер и конфигурацию насоса.
Сайт: www.bskfluidpumps.com
WhatsApp: +86 134 3105 8937
